制程良率超9999% 海目星激光打通Micro L

　　未来，在透明、柔性、车载、超高清大屏幕、全息投影等领域，Micro LED均具有广阔的市场应用前景。

　　12月7日下午-12月8日，由高工LED、高工产业研究院（GGII）主办，东山精密总冠名的以“微显巨变，再现光芒”为主题的2023高工LED年会暨十五周年庆典在深圳机场凯悦酒店盛大举行。

　　作为一年一度的LED行业盛会，本次年会共设4大专场，分别由明微电子、兆元光电、凯格精机、诺瓦星云冠名，议题覆盖芯片、封装、照明、显示、设备、驱动等LED全产业链，超500位企业领袖、行业专家、投资精英到场，研判技术路线日下午，

　　中心总经理彭信翰发表了主题为《打通Micro LED激光制程工艺》的演讲，主要从“新型显示行业装备项目的未来”，“激光巨量转移技术”，“巨量转移技术发展与未来”等方向与参会嘉宾展开分享。新兴技术的变革之路总是充满挑战，Micro LED技术也是如此。

　　的确，Micro LED显示面板的制造工序较多，其中Micro LED巨量转移、巨量焊接及巨量修复是Micro LED显示屏的必备制程，激光技术及其装备是Micro LED显示面板产业的关键核心装备，相较于原来

　　制程装备大部分仰赖进口，Micro LED制程国产化装备有望领跑国际。就激光巨量转移设备来说，主要应用于Micro LED巨量转移和单点修复制程，可实现对任意尺寸任意间距RGB芯片选择性转移，在修复段用于芯片单点转移。

　　等特点，且在可选择性转移方面有较大优势。目前，Micro LED巨量转移技术主要有两大技术路线，分别为透过Mask选择性转移以及控制激光束转移。其中，控制激光束转移是当前的主流技术路线，海目星激光通过这一技术路线推出

　　泵浦固体(DPSS)激光器，目前已经实现转移像素密度超600PPI,制程良率已达99.99%以上，转移基板尺寸超过11”，达到国际领先水平，可实现巨量转移+转移修复+面板修复。二极管泵浦固体(DPSS)激光器应用于Micro LED巨量键合制程，搭配高精度温控激光器、快速视觉对位与演

　　实现本应用。本制程为使用光斑整形后的线型光斑，将预先排列于玻璃上的LED以线扫方式，通过吸收激光之能量后实现巨量焊接的工艺。就工艺效果而言，Micro LED巨量焊接设备在完成焊接后，透过目检可看到芯片对位精准，在点亮测试中可实现点亮与控制皆符合制程要求。

　　焊接完成之后，面板屏上会存在一些缺陷，这就需要做修复工作。为此，海目星还推出Micro LED Trimming设备，针对Micro LED制程中产生的缺陷，进行胶层、芯片去除与焊盘修整，以利后续修补制程。

　　彭信翰表示，该项技术将解决Micro LED显示面板无法完美修复的问题，并推进新型显示关键设备的国产自主化，降低生产成本。当Micro LED制程难点得以解决，Micro LED应用爆发还有多远？降本成为关键！

　　领先者，海目星激光凭借强大的研发实力和对市场的洞察力，迅速在Micro LED设备领域崭露头角，并成为推动Micro LED技术变革的关键力量。早在2017年，当大多数企业还在观望Micro LED市场的时候，海目星激光则敏锐地察觉到了这一新兴市场的巨大潜力，并迅速组建团队进行了深入调研、分析、论证。

　　经过长达4年的技术储备，2021年，海目星激光正式成立新型显示行业中心，全力以赴进军Micro LED设备市场。不同于大多数设备企业选择在Mini LED封装设备市场中分一杯羹，海目星选择坚定地深耕Micro LED设备市场。