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德龙激光申请基于双空间光调制器的激光切割装置及其方
发布时间：2024/03/02 | 作者：必一体育 点击量： 39
专利摘要显示，本发明涉及基于双空间光调制器的激光切割装置及其方法，激光器的输出光路上依次设有扩束镜、功率衰减模组以及用于加载多焦点相位图的空间光调制器一和用于加载像差校正相位图的空间光调制器二，空间光调制器一与空间光调制器二之间的光路上依次设有第一凸透镜、第一反射镜以及第二凸透镜，空间光调制器二的输出光路上依次设有第三凸透镜、第二反射镜、第四凸透镜以及第三反射镜，第三反射镜的反射光路上设有加工物镜。激光光束通过空间光调制器进行相位调制，聚焦于硅晶圆内生成多个焦点，进行像差校正，控制空间光调制器所加载的相位图，生成多个轴向焦点；空间光调制器的光斑整形技术，对隐切过程中折射率失配造成的球差现象进行矫正。
